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光化学及光催化氧化法是目前研究较多的一项高级氧化技术。所谓光催化反应，就是在光的作用下进行的化学反应。光化学反应需要分子吸收特定波长的电磁辐射，受激产生分子激发态，然后会发生化学反应生成新的物质，或者变成引发热反应的中间化学产物。光化学反应的活化能来源于光子的能量，在太阳能的利用中光电转化以及光化学转化一直是十分活跃的研究领域。
光催化氧化技术利用光激发氧化将O2、H2O2等氧化剂与光辐射相结合。所用光主要为紫外光，包括uv-H2O2、uv-O2等工艺，可以用于处理污水中CHCl3、CCl4、多氯联苯等难降解物质。另外，在有紫外光的Fenton体系中，紫外光与铁离子之间存在着协同效应，使H2O2分解产生羟基自由基的速率大大加快，促进有机物的氧化去除。
..重，有干式过滤油漆中的树脂，分为2道粗效和一道中效阻燃纤维过滤器。
第二重，以紫外线光源对废气分子链进行净化的专业技术为核心，利用253.7纳米光波段光将VOC、二甲苯、甲醛、苯等作业毒物的分子链，切割、断链、燃烧、裂解。
第三重，利用185纳米波段光对废气分子进行催化氧化，使破坏后的分子或中子、原子以O3进行结合，使有机或无机高分子恶臭化合物分子链，将其转化为CO2、H2O等低分子化合物。
第四重，以蜂窝状金属网为载体，放置7种以上惰性催化剂，使之发生催化效果。将光源效果放大10-30倍，缩短时间，并提高净化效率。另外，在这一阶段催化剂本身便具有类似于植物的光合效果，它可在催化光源反应的同时参与废气的净化。
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